- 可有效檢測最小線寬20%尺寸大小的缺口、毛刺及0.4mil以下的微短/開路缺陷；
- 特別軟件設計，在防止細小缺陷漏測的同時將誤檢數目控制到最低，提高整體檢測效率；
- CAM資料導入分析僅需2-10秒，為目前行業最快速度。無需單獨的建模工作站。人性化操作界面，20分鐘即可獨立進行操作；掃描時間小于35秒/張；
- 掌握核心技術，可根據用戶需求量打造；服務便捷。
| 產品型號 |
ESL D1 |
ESL D3 |
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最小線寬/線距 |
3mil（75μm） |
2mil（50μm） |
| 檢測速度（秒/面） |
35 sec/Side (Size 18"×24" at 4mil line width) |
90 sec/Side (Size 18"×24" at 2mil line width) |
| 檢測精度 |
毛刺、缺口：最小線寬20%尺寸 開路、短路：0.5mil *以上規格可根據用戶需求調整 |
毛刺、缺口：最小線寬20%尺寸 開路、短路：0.4mil *以上規格可根據用戶需求調整 |
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缺陷類型 |
開路、短路、缺口、毛刺、針孔、尺寸違規、位置違規、孤立點... ... |
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| CAM資料格式 |
GERBER RS-274X、 ODB++ |
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| 最大檢測尺寸 |
26"×26"(660 ×660mm ) or 26"×30"(660 ×760mm) |
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| 適用底片 |
黑片/棕片 |
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| 檢測原理 |
CAM特征對比 |
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| 二次元功能 |
可選配 |
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| 缺陷確認方式 | 在線式確認 | |
| 光源系統 | 高亮LED光源（壽命：大于3年） | |
| 相機 |
高速線陣CCD相機 |
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| 操作系統 | Microsoft Windows 7 | |
| 尺寸 Size L×W×H | 1510mm ×1380mm ×1580mm | |
| 重量 | 1200KG | |
| 電力要求 | 單相 AC200V，50Hz，2KW | |
| 吸氣 |
自備真空吸附單元 |
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| SPC | 缺陷自動分類及數據 | |
